집속이온빔연마장치
FIB (Focused Ion Beam)
모델명 | Scios2 |
제작사 | Thermo Fisher Scientific |
설치장소 | 동아대학교 공대2호관(S04) 0101호 |
문의전화 | 051)200-6376 |
기기담당자 | 손광석 |
원리 및 특징
집속이온빔 조사 장치로 나노단위의 시료를 가공하여 FESEM 및 EDS 분석이 가능한 장비. 영역분할 BSE detector와 대물렌즈 내/외부의 SE detector(4개)를 활용하여 자성시료 등 소재 특성에 최적화된 관찰 모드 제공.
시료 부착 및 보호막 증착을 위한 GIS(gas injection system:Pt, C)과 나노크기 시료 이동 조작을 위한 lift-out system, 가공 중 시료 냉각을 위한 Cryo stage(LN2)와 자동화 기능을 활용한 3D tomography 가능
활용분야
1. 미세영역의 단면 가공 후 직접 관찰 및 EDS 분석
2. TEM 시료 제작(<100nm)
3. 나노분말 단면 연마 및 구조 관찰
4. 다층 폴리머 단면 연마 및 구조 관찰
사용수가
분석항목 |
교내 |
교외 |
비고 |
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Milling |
시간 |
100,000 |
150,000 |
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TEM sampling |
개 |
200,000 |
300,000 |
Si 5*5µm |