주사탐침현미경
AFM (Atomic Force Microscope)
모델명 | Innova |
제작사 | Bruker |
설치장소 | 동아대학교 공대2호관(S04) 0101호 |
문의전화 | 051)200-6371 |
기기담당자 | 권영훈 |
원리 및 특징
나노크기의 탐침과 시료표면의 원자 사이에 작용하는 힘(atomic force)에 의한 cantilever의 미세한 휨을 레이저로 측정하여 시료의 3차원 구조를 Å 단위까지 관찰하고 정량적 해석이 가능하고(AFM) 탐침과 시료표면 사이에 전류값의 변화를 측정하여 시료 표면이 전기 전도도 분포도 알 수 있다(C-AFM)
활용분야
1. 공학렌즈나 증착막의 두께 및 굴곡도 측정, 천연 광석의 표면분석
2. 반도체의 표면계측, detect 분석, 콤펙트,
광자기 디스크 등의 네트 모양 세부조사, FPD의 제조공정분석
3. Nanolithography, Nanomaching
사용수가
분석항목 |
교내 |
교외 |
비고 |
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AFM |
20,000/h |
30,000/ea |
40,000/h |
60,000/ea |
직접 이용 시,탐침 준비 |
C-AFM |
40,000/ea |
80,000ea |